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红外探测器及多波段非制冷红外焦平面制造技术
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文档序号:7006439
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本实用新型红外探测器包括基底结构、微桥结构,基底结构包括含有读出电路的硅衬底基底、两个读出电路电极、反射层,微桥结构包括微桥桥面、两个支撑柱、两个支撑桥腿。反射层位于硅衬底基底的一端面上;两个读出电路电极呈对角线分布,与反射层位于硅衬底基底...
该专利属于烟台艾睿光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过烟台艾睿光电科技有限公司授权不得商用。
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