温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种清洗化学机械抛光浆液环路系统，该系统包括氮气输入口(N)、去离子水输入口(D)、化学机械抛光浆液输入口(S)、与所述化学机械抛光浆液输入口(S)连接而用于输送化学机械抛光浆液的浆液主管路(101)、与所述氮气输入口(N)...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。