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本发明公开了一种显影腔和显影机台，涉及半导体芯片的制造技术，一种显影腔，包括：腔体(201)、设置在所述腔体中的冲水管道(202)、显影液管道(203)和载片台(204)，所述显影液管道(203)的直径大于0.0625英寸，且所述显影液管道...该专利属于北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司授权不得商用。