下载SiGe HBT工艺中的寄生横向型PNP三极管及其制造方法的技术资料

文档序号:6990612

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本发明公开了一种SiGe?HBT工艺中的寄生横向型PNP三极管,有源区由浅槽场氧隔离,包括集电区、基区、发射区,基区和集电区通过离子注入形成于有源区中并且横向连接,基区和集电区底部分别连结有N型埋层和P型埋层,N型埋层和P型埋层分别形成于基...
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