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一种复合介电层及其制作方法，所述的复合介电层包括，氮掺杂的碳化硅层，碳掺杂的氧化硅层以及位于氮掺杂的碳化硅层和碳掺杂的氧化硅层之间的连接层。所述复合介电层及其制作方法提高了氮掺杂的碳化硅层和碳掺杂的氧化硅层之间粘附力。...
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