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一种用于光刻机的对准系统的自动光强衰减装置，包括控制器，滤光片，电机，光电传感器，其特征在于，所述电机驱动所述滤光片旋转，用以调整入射光的衰减值，所述光电传感器用于向控制器反馈所述滤光片的旋转角度。本发明采用圆形可变中性密度滤光片，其在可见...该专利属于上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司授权不得商用。