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本发明提供了一种非等离子体辅助的化学气相沉积，该方法包括：在将晶圆置于反应腔之前，清洗反应腔内壁沉积的沉积物，在反应腔内壁沉积一层第二沉积物，根据反应腔内的气压调节通入保护性气体的时间；将晶圆置于反应腔后，利用非等离子体辅助的化学气相沉积在...
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