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半导体装置的制造方法制造方法及图纸
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文档序号:6985233
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本发明涉及一种半导体装置的制造方法。该半导体装置的制造方法,其包括:粘接剂层形成工序:通过把粘接薄膜贴附在半导体晶圆上,在所述半导体晶圆上形成粘接剂层;粘接剂图案形成工序:通过对该粘接剂层进行曝光和显影处理,形成粘接剂图案;粘接工序:隔着所...
该专利属于日立化成工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立化成工业株式会社授权不得商用。
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