下载半导体装置的制造方法的技术资料

文档序号:6985233

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种半导体装置的制造方法。该半导体装置的制造方法,其包括:粘接剂层形成工序:通过把粘接薄膜贴附在半导体晶圆上,在所述半导体晶圆上形成粘接剂层;粘接剂图案形成工序:通过对该粘接剂层进行曝光和显影处理,形成粘接剂图案;粘接工序:隔着所...
该专利属于日立化成工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立化成工业株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。