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一种基于相移干涉的球体直径绝对精密计量系统及其方法，包括相互连接的可调谐激光器、保偏光纤系统、激光频率锁定系统、激光频率溯源系统以及球体直径干涉仪；该发明采用基于可调谐激光器的频率扫描而进行干涉相位控制的方法，避免了压电陶瓷用于干涉相位控制...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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