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本发明提供一种刻蚀系统，该系统包括：用于容置电浆的腔体；设置于所述腔体上方的石英盘；设置于所述石英盘上方的多个永久磁体；旋转机构，所述旋转机构带动所述多个永久磁体旋转，所述多个永久磁体产生的磁场随所述多个永久磁体的旋转而旋转，所述电浆处于所...
该专利属于协鑫光电科技（张家港）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过协鑫光电科技（张家港）有限公司授权不得商用。

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