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株式会社日立高新技术仪器
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芯片焊接器、拾取方法以及拾取装置制造方法及图纸
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下载芯片焊接器、拾取方法以及拾取装置的技术资料
文档序号:6981973
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本发明提供一种能够可靠地剥离芯片的拾取装置、使用上述拾取装置的可靠性高的芯片焊接器和拾取方法。在顶出粘贴在切割膜上的多个芯片(半导体芯片)中的剥离对象的芯片来将上述芯片从上述切割膜上剥离时,通过顶出上述芯片的周边部中的预定部的上述切割膜来形...
该专利属于株式会社日立高新技术仪器所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立高新技术仪器授权不得商用。
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