下载具有掩埋位线的半导体器件及其制造方法的技术资料

文档序号:6980635

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种半导体器件,包括:有源区,所述有源区具有侧壁,所述侧壁包括侧壁台阶;在所述侧壁台阶的表面之下形成的结;和被配置为与所述结相接触的掩埋位线。...
该专利属于海力士半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过海力士半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。