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具有掩埋位线的半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:6980635
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本发明公开了一种半导体器件,包括:有源区,所述有源区具有侧壁,所述侧壁包括侧壁台阶;在所述侧壁台阶的表面之下形成的结;和被配置为与所述结相接触的掩埋位线。...
该专利属于海力士半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过海力士半导体有限公司授权不得商用。
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