下载从载体基底中移去可逆向安装的器件晶片的方法和装置的技术资料

文档序号:6979930

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提供用来分离临时、永久或半永久粘结的基底和物品的新拆卸方法和装置,这些基底和物品根据那些方法和装置形成。所述方法包括从仅强力地粘结在其外周缘处的载体或基底上拆卸器件晶片。边缘粘结件化学地、机械地、声音地或热地软化、溶解或中断,而允许晶片在室...
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