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去除固体硅中硼杂质的方法技术
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下载去除固体硅中硼杂质的方法的技术资料
文档序号:6972920
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本发明公开了一种去除固体硅中硼杂质的方法,步骤一、将含有硼杂质的固体硅粉碎形成硅粉;步骤二、将硅粉放入一加热炉中并进行氧化,在硅粉颗粒的表面形成二氧化硅层,利用高温以及形成的硅和二氧化硅固体界面促使硅粉颗粒中靠近表面的硼向二氧化硅中转移、硅...
该专利属于上海普罗新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海普罗新能源有限公司授权不得商用。
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