下载镀膜工艺中的图案形成方法及应用此方法的基板承载设备的技术资料

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一种镀膜工艺中的图案形成方法及应用此方法的基板承载设备,该镀膜工艺中的基板承载设备包含一承载架、至少一遮罩以及至少一压合工具。承载架具有至少一承载槽孔,以供遮罩对应组配,此遮罩具有一平面图形部及一磁性结构部。于基板置入承载槽孔后,压合工具可...
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