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一种整合肖特基二极管与功率晶体管于基材的制造方法；首先提供一基材，此基材的上表面定义有一晶体管区域与一肖特基二极管区域；随后，形成至少一个第一沟槽于晶体管区域与至少二个第二沟槽于肖特基二极管区域；接下来，形成一栅极多晶硅结构于第一沟槽内，并...
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