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一种用于光刻设备的对准探测装置，包括在其下表面上形成有用于掩模对准的透射型标记的晶片台基准板；中心与相应的透射型标记的中心对齐的光子转换晶体，用于将紫外光转换为可见光；用于安装光子转换晶体的光学支架；用于对光进行传播隔离以及隔离外界热源的隔...该专利属于上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司授权不得商用。