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一种SONOS结构和SONOS存储器的形成方法，所述SONOS结构的形成方法包括：提供衬底；在所述衬底上形成图形化的光刻胶层，定义出衬底上ONO结构的区域；以所述图形化的光刻胶层为掩膜，与所述衬底的表面呈小于90度方向干法刻蚀所述衬底的上部...
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