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本实用新型涉及气体分离方法的专用设备领域。本实用新型公开了一种多晶硅生产回收氢气的精脱氯设备，包括脱氯装置和终端净化装置；所述脱氯装置上设置有进气口和出气口，脱氯装置内填充有脱氯剂，所述脱氯装置通过进气口的管道与活性炭吸附塔相连；所述终端净...
该专利属于四川新光硅业科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川新光硅业科技有限责任公司授权不得商用。

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