下载基于玻璃基的PLC晶圆切割方法的技术资料

文档序号:6947230

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本发明适用于半导体制程领域。本发明公开一种基于玻璃基的PLC晶圆切割方法,该基于玻璃基的PLC晶圆切割方法包括,在玻璃基板上涂上涂有粘合层,通过热熔方式使粘合层与需要切割的PLC晶圆进行粘合,待粘合层冷却PLC晶圆固定后采用切割工具对与玻璃...
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