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一种小体积高耐压MOSFET制造技术
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下载一种小体积高耐压MOSFET的技术资料
文档序号:6943925
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一种小体积高耐压MOSFET,属于半导体器件制造技术领域。包括半导体基板上的有源区(101)和边缘区(102),有源区(101)位于半导体基板的中心区,边缘区(102)环绕在有源区(101)的四周上方,边缘区(102)的下方主扩散结(1)的...
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