下载一种红外透明导电薄膜及其制备方法的技术资料

文档序号:6930931

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种红外透明导电薄膜及其制备方法,在蓝宝石试样的SiO2增透薄膜上或者蓝宝石表面覆盖一层厚度为20~30nm,周期为500~700μm,线宽为2.0~4.0μm的Au网栅薄膜,并通过涂光刻胶、前烘、曝光、显影、后烘、沉积Au薄膜和去光刻胶,...
该专利属于西北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西北工业大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。