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一种红外透明导电薄膜及其制备方法技术
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文档序号:6930931
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一种红外透明导电薄膜及其制备方法,在蓝宝石试样的SiO2增透薄膜上或者蓝宝石表面覆盖一层厚度为20~30nm,周期为500~700μm,线宽为2.0~4.0μm的Au网栅薄膜,并通过涂光刻胶、前烘、曝光、显影、后烘、沉积Au薄膜和去光刻胶,...
该专利属于西北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过西北工业大学授权不得商用。
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