下载一种固体材料二次电子发射系数的智能测试装置的技术资料

文档序号:6923220

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本实用新型的一种固体材料二次电子发射系数的智能测试装置,包括机械系统、电气控制系统和分析检测系统;机械系统包括真空室、真空泵、电子枪、电子收集装置和加热装置,以提供真空环境并且产生并收集二次电子;所述电气控制系统包括电源、可编程控制器和温控...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。

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