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本实用新型提出一种托盘组件和具有该托盘组件的基片处理设备。托盘组件包括：托盘本体，托盘本体的上表面上设有用于容纳基片的容纳槽且托盘本体内还设有从容纳槽的底面延伸到托盘本体的下表面的供气孔；设在容纳槽内以支撑基片且围绕供气孔的上端的密封圈；和...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。