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一种多晶硅还原装置制造方法及图纸
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下载一种多晶硅还原装置的技术资料
文档序号:6911208
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一种多晶硅还原装置,包括至少两台多晶硅还原炉,所述多晶硅还原炉为多级串联连接,或并联后再多级串联连接,所述多级为至少两级,每级设有至少一台多晶硅还原炉。本实用新型的有益效果是,1、省略了换热装置和冷凝装置,或大大减少了换热装置和冷凝装置以及...
该专利属于王春龙所有,仅供学习研究参考,未经过王春龙授权不得商用。
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