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光学系统波像差标定装置及该装置测试误差的标定方法,涉及光学测量技术领域,它解决现有光学系统在检测光学元件之前无法评价其测试误差是否满足检测精度要求以及选择合适的移相算法对采集的数据进行处理的问题,本发明所述的分光系统出射两束共光路的正交线偏...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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