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本实用新型提出一种抛光垫清洁装置及抛光装置，包括：清洁臂，设于所述抛光垫上方并能够相对所述抛光垫运动，其内部设有至少一路送气管和至少一路吸气管；多个喷嘴，设于所述清洁臂靠近所述抛光垫的底面上，并分别与所述送气管或吸气管相通。通过对送气管送气...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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