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本发明提供一种薄膜晶体管矩阵基板及显示面板的制造方法。此制造方法包括如下步骤:依序形成栅极、栅极绝缘层、半导体层、欧姆接触层、电极层及第一光阻层于所述透明基材上;图案化所述第一光阻层;蚀刻所述欧姆接触层及所述电极层;涂布第二光阻层于所述图案...该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种薄膜晶体管矩阵基板及显示面板的制造方法。此制造方法包括如下步骤:依序形成栅极、栅极绝缘层、半导体层、欧姆接触层、电极层及第一光阻层于所述透明基材上;图案化所述第一光阻层;蚀刻所述欧姆接触层及所述电极层;涂布第二光阻层于所述图案...