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一种多光束激光并行直写光栅的装置及光栅直写方法，包括刻写光路、探测光路和控制模块三部分，其特点是在刻写光路中设置了达曼光栅分光器件，使刻写光栅的效率比传统的单光束激光直写装置提高了几十倍。...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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