下载面向集成电路检测的计算机辅助管理装置及方法和系统的技术资料

文档序号:6884135

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本发明提供一种面向集成电路检测的计算机辅助管理装置,其特征在于,包括如下装置:工作台控制装置,其用于调整工作台的垂直位置以及水平位置;托盘控制装置,其用于调整托盘的水平度;光源控制装置,其用于控制光源使测量区域灰度值落在目标灰度值的容许波动...
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