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多光束激光外差二次谐波法测量激光入射角度的装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:6882756
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多光束激光外差二次谐波法测量激光入射角度的装置及方法,涉及一种测量激光入射角度的装置及方法。它解决了现有采用多光束激光外差测量激光入射角度方法由于激光差频信号采集效果差、信号处理的运算速度慢导致的测量精度较低的问题。本发明通过在光路中加入振...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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