温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种偏转轴可以自由变换的二维MEMS倾斜镜，其上电极单边非对称的固定在基底上，通过在倾斜镜的不同排布方式的下电极块上加相同的电压值或在相同排布方式的下电极块上加不同的电压值，或将以上两种方案综合使用，完成二维MEMS倾斜镜的偏转轴的自由变换...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。