下载蚀刻酸废液处理系统、蚀刻酸废液处理装置及适用于该系统与装置的蚀刻酸废液处理方法的技术资料

文档序号:6877930

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本发明是通过蚀刻酸废液处理循环流道(5)来连续进行使用过滤器(2)去除固形物的固形物去除工序、及使用金属阳离子交换树脂塔(3)去除作为金属离子的金属阳离子的金属阳离子去除工序,在金属阳离子去除工序的上游侧进行固形物去除工序,并进一步进行金属...
该专利属于环保股份有限公司;芝浦机械电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过环保股份有限公司;芝浦机械电子株式会社授权不得商用。

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