下载一种基于表面浮雕结构的环形腔面发射半导体激光器的技术资料

文档序号:6876293

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本发明公开了一种基于表面浮雕结构的环形腔面发射半导体激光器,其特征在于,该环形腔面发射半导体激光器自下至上依次由下电极(1)、衬底(2)、下DBR(3)、有源区(4)、氧化层(5)、上DBR(6)、λ/4反相层(7)、上电极(8)、表面浮雕...
该专利属于长春理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过长春理工大学授权不得商用。

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