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下载压力传感器的技术资料

文档序号:6876192

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本发明提供小型且高性能的压力传感器。该压力传感器具备:传感器芯片(10);设置于传感器芯片(10)中央部的差压用隔膜(4);设置于差压用隔膜(4)上的差压用测定元件(5);设置于差压用隔膜(4)的外周部的静压用隔膜(17);配置于静压用隔膜...
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