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本发明公开了一种纳米金刚石薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)对衬底进行辅助形核处理；(2)在衬底表面沉积纳米金刚石薄膜；(3)对纳米金刚石薄膜进行去氢处理：将步骤(2)得到的覆盖有纳米金刚石薄膜的置于3～8kPar的氧气氛围下，并加热到1...
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