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一种SiCl4气体加热装置，设有炉体，炉体上设有进气口和出气口，在炉体内壁上设有电加热排，炉体内设有与进气口和出气口相连接的换热盘管，换热盘管呈螺旋状盘绕成内、中、外三层换热柱，在内层换热柱与中间层换热柱之间设有内加热筒，在炉体内的顶部设有...
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