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本实用新型公开了一微电子机械系统电容式相对湿度传感器，其特征在于：该湿度传感器包括设有空腔（5）的衬底（1）、设在衬底（1）上的氧化层（2）、分别设置在氧化层（2）上的第一电容电极（3）和第二电容电极（4），第一电容电极（3）和第二电容电极...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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