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基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器制造技术
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下载基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器的技术资料
文档序号:6873958
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实用新型公开了一种基于氧化石墨烯的电容式相对湿度传感器,其特征在于:该湿度传感器包括衬底(1)、自衬底(1)向上依次设置在衬底(1)上的氧化层(2)、加热条(3)、绝缘层(4),该湿度传感器还包括第一电容电极(5)、第二电容电极(6)、钝化...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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