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一种一维尺度受限的石墨烯纳米带的制备方法,包括:提供过渡金属基底;在过渡金属基底表面涂布光刻胶,形成光刻胶层;通过曝光显影将定义图案转移至光刻胶层,形成光刻胶图形;以光刻胶层为掩膜,在过渡金属基底内进行碳离子注入,形成碳离子注入区域;碳离子...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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