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本发明公开了一种大口径大动态范围准直系统波前质量检测装置，能够同时具有大动态范围和高探测精度。光源发出的光经过待测准直系统形成待测准直波前，待测准直波前先后通过掩模板和扩束系统后投射到夏克哈特曼传感器的微透镜阵列；光电探测器将其探测到的光斑...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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