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本发明公开一种器件承载装置，包含：一承载台、一真空系统、一供气系统及一放电系统。所述承载台具有一承载面、一底面及至少一通孔，且所述通孔导通所述承载面及所述底面；所述真空系统提供一真空吸力至所述通孔；所述供气系统用以输出至少一种气体至所述通孔...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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