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本发明涉及一种锗的微米/纳米锥阵列及其制备方法。本发明的锗的微米/纳米锥阵列是基于对单晶锗片的化学刻蚀得到的,是由多个锗的微米/纳米锥构成,其中,阵列中的锗的微米/纳米锥的长度为5~40μm,尖端的直径为50~100nm。本发明的制备方法工...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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