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本发明涉及SEM成像方法。一种使用扫描电镜法研究样品的方法，包含以下步骤：－在多个（N个）测量会话中使用探测电子束照射样品的表面（S），每个测量会话具有相关联的束参数（P）值，该束参数值选自于一系列这样的值且在测量会话之间不同；－在每个测量...该专利属于F.布戈尔贝尔;C.S.库伊曼;B.H.利赫;E.G.T.博施所有，仅供学习研究参考，未经过F.布戈尔贝尔;C.S.库伊曼;B.H.利赫;E.G.T.博施授权不得商用。