温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供设定束电流密度分布的调整目标的方法和离子注入装置。离子注入装置沿与从多个离子束供给装置分别提供给处理室内的带状离子束的长边方向大体垂直的方向，输送玻璃基板，沿玻璃基板整个面，使由各带状离子束照射的区域重迭，在玻璃基板上形成大体均匀...
该专利属于日新离子机器株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日新离子机器株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。