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微电子机械定向耦合式微波功率传感器及其制备方法，定向耦合式微波功率传感器由定向微波功率耦合器和基于热电堆的终端式微波功率传感器组成，定向微波功率耦合器的副线与主线耦合的部分设有MEMS固支梁，MEMS固支梁作为副线的一段耦合线段；MEMS固...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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