下载一种以氧化物半导体为沟道层的混合结构薄膜晶体管的技术资料

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本发明属于薄膜晶体管技术领域,涉及一种以氧化物半导体为沟道层的混合结构薄膜晶体管结构。本发明以氧化物半导体薄膜为沟道层,以有机介质薄膜为栅介质层,以透明导电氧化物薄膜为栅电极、源电极和漏电极,构成混合型薄膜晶体管结构。本发明的薄膜晶体管以玻...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。

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