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本发明的投影光刻物镜的精密调整装置包括一多螺距调整螺钉，所述多螺距调整螺钉包括一圆柱和一圆筒；所述圆筒套在所述圆柱上，所述圆柱比所述圆筒长；所述圆筒的外壁上设有外螺纹，所述圆筒的内壁上设有内螺纹；所述圆柱的外壁上设有外螺纹，所述圆柱外壁上的...
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