温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种大直径立式硅片承载器的制备方法，其特点是：选用Ф20mm石英棒和Ф310mm石英片，作为制作卧式硅片承载器的原材料，石英硅含量≥99.998％；通过模具定位，沿底盘边缘竖向焊接四根石英棒；对石英棒相对的内侧分别横向进行开槽，四个石英棒相...
该专利属于王运家所有，仅供学习研究参考，未经过王运家授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。