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一种对半导体器件进行总剂量辐照提参建模的方法技术
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下载一种对半导体器件进行总剂量辐照提参建模的方法的技术资料
文档序号:6867120
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本发明公开了一种对半导体器件进行总剂量辐照提参建模的方法,该方法包括:用半导体参数测试仪对半导体器件进行测试,得到该半导体器件的原始数据;用提参软件从该半导体器件的原始数据中提取参数,得到旧模型参数;在得到的旧模型参数中加入宏模型,形成含有...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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